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本发明涉及一种铝钛合金靶材组件的焊接方法，具体涉及靶材焊接领域，所述焊接方法包括：将铝钛合金靶材、铝层和背板依次装配后，进行热等静压焊接，得到铝钛合金靶材组件；其中，所述铝层进行渗钛处理，所得渗钛层的厚度为10‑100μm，所述渗钛层中钛的...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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