【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材焊接领域,具体涉及一种铝钛合金靶材组件的焊接方法。
技术介绍
1、目前,金属材料焊接
,特别是在铝钛合金靶材制造领域,背板与靶材的焊接是一个关键环节。
2、背板的主要作用是为靶材提供支撑,并确保在使用过程中靶材的稳定性。在现有的技术中,通常采用钎焊的方式将靶材与背板进行焊接。这种方法的优点是操作简单,成本低,但是焊接强度不高,且使用温度不能超过100℃,否则有脱焊的风险,这大大限制了其使用范围。
3、另一种解决方案是通过扩散焊接,虽然这种方法可以提高焊接强度,扩大使用温度范围,但是会导致靶材向上凸起变形,由于铝钛合金靶材的脆性大,可能会造成开裂。
4、如cn117161534a公开铝钛合金靶材与铝合金背板的焊接方法,包括:铝钛合金靶材、中间层以及铝合金背板,将铝钛合金靶材和中间层进行热处理,得到铝钛合金靶材-中间层;对所述的铝钛合金靶材-中间层的铝钛合金靶材表面施加压力,然后将铝合金背板与所述铝钛合金靶材-中间层进行装配,得到靶材组件;将所述的靶材组件置于包套中进行热等静压焊接
...【技术保护点】
1.一种铝钛合金靶材组件的焊接方法,其特征在于,所述焊接方法包括:
2.如权利要求1所述的焊接方法,其特征在于,所述铝钛合金靶材的焊接面设置有螺纹;
3.如权利要求1或2所述的焊接方法,其特征在于,所述铝层的厚度为2-4mm。
4.如权利要求1-3任一项所述的焊接方法,其特征在于,所述背板为凹形背板;
5.如权利要求1-4任一项所述焊接方法,其特征在于,所述热等静压焊接的温度为400-500℃;
6.如权利要求1-5任一项所述焊接方法,其特征在于,所述热等静压焊接的时间为4-6h。
7.如权利要求
...【技术特征摘要】
1.一种铝钛合金靶材组件的焊接方法,其特征在于,所述焊接方法包括:
2.如权利要求1所述的焊接方法,其特征在于,所述铝钛合金靶材的焊接面设置有螺纹;
3.如权利要求1或2所述的焊接方法,其特征在于,所述铝层的厚度为2-4mm。
4.如权利要求1-3任一项所述的焊接方法,其特征在于,所述背板为凹形背板;
5.如权利要求1-4任一项所述焊接方法,其特征在于,所述热等静压焊接的温度为400-500℃;
6.如权利要求1-5任一项所述焊...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚力军,张怡忠,吴东青,
申请(专利权)人:宁波江丰电子材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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