一种铝钛合金靶材组件的焊接方法技术

技术编号:43296493 阅读:29 留言:0更新日期:2024-11-12 16:14
本发明专利技术涉及一种铝钛合金靶材组件的焊接方法,具体涉及靶材焊接领域,所述焊接方法包括:将铝钛合金靶材、铝层和背板依次装配后,进行热等静压焊接,得到铝钛合金靶材组件;其中,所述铝层进行渗钛处理,所得渗钛层的厚度为10‑100μm,所述渗钛层中钛的含量以质量百分含量计为20‑40%。本发明专利技术提供的焊接方法,通过对铝层进行特定的渗钛处理,优化铝钛合金靶材和背板的连接效果,实现铝钛合金靶材组件的焊接强度提升的同时显著降低了焊接后的所得靶材组件的变形量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及靶材焊接领域,具体涉及一种铝钛合金靶材组件的焊接方法


技术介绍

1、目前,金属材料焊接
,特别是在铝钛合金靶材制造领域,背板与靶材的焊接是一个关键环节。

2、背板的主要作用是为靶材提供支撑,并确保在使用过程中靶材的稳定性。在现有的技术中,通常采用钎焊的方式将靶材与背板进行焊接。这种方法的优点是操作简单,成本低,但是焊接强度不高,且使用温度不能超过100℃,否则有脱焊的风险,这大大限制了其使用范围。

3、另一种解决方案是通过扩散焊接,虽然这种方法可以提高焊接强度,扩大使用温度范围,但是会导致靶材向上凸起变形,由于铝钛合金靶材的脆性大,可能会造成开裂。

4、如cn117161534a公开铝钛合金靶材与铝合金背板的焊接方法,包括:铝钛合金靶材、中间层以及铝合金背板,将铝钛合金靶材和中间层进行热处理,得到铝钛合金靶材-中间层;对所述的铝钛合金靶材-中间层的铝钛合金靶材表面施加压力,然后将铝合金背板与所述铝钛合金靶材-中间层进行装配,得到靶材组件;将所述的靶材组件置于包套中进行热等静压焊接。所述绑定方法不仅能本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种铝钛合金靶材组件的焊接方法,其特征在于,所述焊接方法包括:

2.如权利要求1所述的焊接方法,其特征在于,所述铝钛合金靶材的焊接面设置有螺纹;

3.如权利要求1或2所述的焊接方法,其特征在于,所述铝层的厚度为2-4mm。

4.如权利要求1-3任一项所述的焊接方法,其特征在于,所述背板为凹形背板;

5.如权利要求1-4任一项所述焊接方法,其特征在于,所述热等静压焊接的温度为400-500℃;

6.如权利要求1-5任一项所述焊接方法,其特征在于,所述热等静压焊接的时间为4-6h。

7.如权利要求1-6任一项所述焊接...

【技术特征摘要】

1.一种铝钛合金靶材组件的焊接方法,其特征在于,所述焊接方法包括:

2.如权利要求1所述的焊接方法,其特征在于,所述铝钛合金靶材的焊接面设置有螺纹;

3.如权利要求1或2所述的焊接方法,其特征在于,所述铝层的厚度为2-4mm。

4.如权利要求1-3任一项所述的焊接方法,其特征在于,所述背板为凹形背板;

5.如权利要求1-4任一项所述焊接方法,其特征在于,所述热等静压焊接的温度为400-500℃;

6.如权利要求1-5任一项所述焊...

【专利技术属性】
技术研发人员:姚力军张怡忠吴东青
申请(专利权)人:宁波江丰电子材料股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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