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本申请公开了一种多重磁场刻蚀装置，包括工作腔、载台、线圈、第一磁组和至少两层第二磁组，第一磁组和第二磁组均包括多个沿圆周方向间隔设置的永磁铁；线圈用作激发磁场，第一磁组用作约束磁场，第二磁组用作增强磁场；激发磁场促进等离子体生成，约束磁场将...
该专利属于无锡尚积半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡尚积半导体科技有限公司授权不得商用。

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