下载一种压力传感器、封装结构、制作方法以及电子设备的技术资料

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本发明的实施例公开了一种压力传感器、封装结构、制作方法以及电子设备。其中压力传感器包括基底,基底包括力敏感膜和支撑体,支撑体包括应力缓冲区和连接区,力敏感膜位于支撑体的上表面的部分区域,在垂直于基底的厚度方向的平面上,应力缓冲区环绕力敏感膜...
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