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本发明公开了一种晶圆级封装模具孔径优化系统及方法,该系统包括:上型模腔,包括上型腔模盒和上模腔,上模腔设置于上型腔模盒内;下型模腔,包括下型腔模盒和下模腔,下模腔用于承载晶圆片,下模腔中设置有真空线路;上型腔模盒能够与下型腔模盒面面相接形成...该专利属于华天科技(昆山)电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华天科技(昆山)电子有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种晶圆级封装模具孔径优化系统及方法,该系统包括:上型模腔,包括上型腔模盒和上模腔,上模腔设置于上型腔模盒内;下型模腔,包括下型腔模盒和下模腔,下模腔用于承载晶圆片,下模腔中设置有真空线路;上型腔模盒能够与下型腔模盒面面相接形成...