下载加压烧结方法及对应加压烧结设备的技术资料

文档序号:43280085

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提供一种加压烧结方法及设备,加压烧结方法及设备用于通过在加压烧结时间间隔过程中在烧结压力及烧结温度下进行加压烧结而将组件附接至基板,其间具有烧结材料。加压烧结设备包含第一工具部分及第二工具部分,第二工具部分经配置来保持基板,且第一工具部分及...
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