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本技术公开了一种碳化硅衬底的双面磨削装置，包括加工台，所述加工台上分别安装有可竖向夹持碳化硅衬底的夹持机构和两组对称设置的打磨机构，本技术夹持机构中设置了四个竖向分布的限位轮，实现待加工碳化硅衬底的竖向定位，在磨削时，加工产生的碎屑直接向下...
该专利属于上海合晶硅材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海合晶硅材料股份有限公司授权不得商用。

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