一种碳化硅衬底的双面磨削装置制造方法及图纸

本技术公开了一种碳化硅衬底的双面磨削装置，包括加工台，所述加工台上分别安装有可竖向夹持碳化硅衬底的夹持机构和两组对称设置的打磨机构，本技术夹持机构中设置了四个竖向分布的限位轮，实现待加工碳化硅衬底的竖向定位，在磨削时，加工产生的碎屑直接向下掉落，不会滞留在碳化硅衬底表面，解决了碎屑会进入磨削头与碳化硅衬底之间，损伤已磨削好的部位，降低了良品率的问题；由于限位轮侧边上的卡槽设为截面为三角形的卡槽，可将碳化硅衬底定位的更加牢固，磨削过程中碳化硅衬底不会发生震荡，且适用于不同厚度和不同尺寸的碳化硅衬底夹持定位，并且只需要一个电机即可驱动碳化硅衬底旋转，减少了设备成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及碳化硅衬底加工，具体为一种碳化硅衬底的双面磨削装置。

技术介绍

1、碳化硅衬底是一种用于制备半导体器件的基底材料。它由碳和硅元素组成，具有许多优异的特性，使其在高温、高功率和高频率应用中得到广泛应用。碳化硅具备：

2、高温稳定性：碳化硅能够在高温环境下保持稳定性，具有较低的热膨胀系数和较高的热导率。

3、高耐压能力：碳化硅衬底具有较高的耐压能力，能够承受较高的电场强度。

4、高频特性：碳化硅具有较高的导电性和低损耗，使其在高频电子器件中表现出色。

5、良好的机械性能：碳化硅具有较高的硬度和强度，能够抵抗机械应力和表面划痕。

6、经检索，申请号为202121090495.3的专利公开了一种硅片双面磨削装置，包括工作台、电动推杆一、支撑座和滑槽，所述工作台上端设置有所述电动推杆一，所述电动推杆一上端设置有所述支撑座，所述电动推杆一一侧设置有所述滑槽，所述滑槽内设置有支撑柱，所述支撑柱上端内部设置有电机二，所述电机二的输出轴上设置有旋转盘，所述支撑柱一侧壁上设置有液压杆。有益效果在于：该技术通本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅衬底的双面磨削装置，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)上分别安装有可竖向夹持碳化硅衬底的夹持机构(2)和两组对称设置的打磨机构(4)，所述夹持机构(2)上安装有驱动碳化硅衬底转动的旋转机构(3)，所述夹持机构(2)包括两组相向移动的立板(21)，所述立板(21)的一侧安装有两组上下分布的安装架(22)，所述安装架(22)的内部转动安装有限位轮(23)，所述限位轮(23)的侧边开设有用于定位碳化硅衬底、截面为三角形的卡槽；

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅衬底的双面磨削装置，其特征在于：所述立板(21)上开设有螺纹孔(24)，所述旋转机构(3)包括固...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅衬底的双面磨削装置，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)上分别安装有可竖向夹持碳化硅衬底的夹持机构(2)和两组对称设置的打磨机构(4)，所述夹持机构(2)上安装有驱动碳化硅衬底转动的旋转机构(3)，所述夹持机构(2)包括两组相向移动的立板(21)，所述立板(21)的一侧安装有两组上下分布的安装架(22)，所述安装架(22)的内部转动安装有限位轮(23)，所述限位轮(23)的侧边开设有用于定位碳化硅衬底、截面为三角形的卡槽；

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅衬底的双面磨削装置，其特征在于：所述立板(21)上开设有螺纹孔(24)，所述旋转机构(3)包括固定架(31)和螺纹连接在螺纹孔(24)内部的螺杆(34)，所述螺杆(34)的一端转动连接在固定架(31)上。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅衬底的双面磨削装置，其特征在于：所述固定架(31)设为匚型的固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪祖一，
申请(专利权)人：上海合晶硅材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：