下载基于电场自耦合的直线位移传感器的技术资料

文档序号:43245527

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本发明公开了一种基于电场自耦合的直线位移传感器,包括动尺基体和定尺基体,动尺基体上且朝向定尺基体所在方向的一侧侧面上设置有一个或多个对极单元,对极单元包括至少三组沿动尺基体长度方向间隔排列的传感电极组,每组传感电极组包括沿动尺基体长度方向间...
该专利属于重庆理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆理工大学授权不得商用。

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