【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及测量传感，具体涉及一种基于电场自耦合的直线位移传感器。
技术介绍
1、随着工业技术的高速发展,人类对位移精密测量技术的要求越来越高。作为现代信息技术三大基础之一的传感器技术,其工作性能与测量结果密切相关。时栅位移传感器是自主研发生产的位移传感器，实现了时间量对空间量的测量。
2、现有技术中已经公开的专利一种基于单排多层结构的电场式时栅直线位移传感器(公开号为cn103822571a)，该传感器以高频时钟脉冲作为测量基准，采用平板电容构建的交变电场来直接耦合出测量所需的电行波信号，因此能实现大量程范围内的高精度位移测量。但是该传感器的动尺和定尺需要分别引线，随着传感器的定尺量程增大，定尺上的引线使其内阻会越来越大，限制了传感器的测量量程，且信号输出线的安装较为麻烦，导致传感器可靠性降低。
技术实现思路
1、针对上述现有技术的不足，本专利技术所要解决的技术问题是：如何提供一种结构简单可靠，能够实现定尺基体的无源传感，解决定尺基体引线问题引起的内阻过大，从而限制测量量程...
【技术保护点】
1.一种基于电场自耦合的直线位移传感器，包括相对且平行设置的动尺基体和定尺基体，动尺基体与定尺基体相对的一侧侧面相互平行且留有间隙，其特征在于：动尺基体上且朝向定尺基体所在方向的一侧侧面上设置有一个或多个对极单元，对极单元包括至少三组沿动尺基体长度方向间隔排列的传感电极组，每组传感电极组包括沿动尺基体长度方向间隔设置的一个激励电极和一个感应电极，每组传感电极中激励电极和感应电极之间的间距相同，所有的激励电极和感应电极为沿动尺基体长度方向交错间隔设置；
2.根据权利要求1所述的基于电场自耦合的直线位移传感器，其特征在于：所述调制单元F或所述调制单元G的材质与...
【技术特征摘要】
1.一种基于电场自耦合的直线位移传感器，包括相对且平行设置的动尺基体和定尺基体，动尺基体与定尺基体相对的一侧侧面相互平行且留有间隙，其特征在于：动尺基体上且朝向定尺基体所在方向的一侧侧面上设置有一个或多个对极单元，对极单元包括至少三组沿动尺基体长度方向间隔排列的传感电极组，每组传感电极组包括沿动尺基体长度方向间隔设置的一个激励电极和一个感应电极，每组传感电极中激励电极和感应电极之间的间距相同，所有的激励电极和感应电极为沿动尺基体长度方向交错间隔设置；
2.根据权利要求1所述的基于电场自耦合的直线位移传感器，其特征在于：所述调制单元f或所述调制单元g的材质与所述定尺基体的材质一致。
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【专利技术属性】
技术研发人员：彭凯，许小虎，刘小康，王合文，蒲红吉，
申请(专利权)人：重庆理工大学，
类型：发明
国别省市：
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