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本发明属于激光器技术领域，为解决现有深紫外激光系统复杂的问题，提供一种248.3nm单频全固态深紫外激光系统及方法。其中，248.3nm单频全固态深紫外激光系统包括种子激光源光路、三倍频光路、光参量振荡器光路及和频光路；种子激光源光路对设定...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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