一种248.3nm单频全固态深紫外激光系统及方法技术方案

本发明专利技术属于激光器技术领域，为解决现有深紫外激光系统复杂的问题，提供一种248.3nm单频全固态深紫外激光系统及方法。其中，248.3nm单频全固态深紫外激光系统包括种子激光源光路、三倍频光路、光参量振荡器光路及和频光路；种子激光源光路对设定波长单频种子激光依次进行调制和放大，再进行分光处理，分别再传送至三倍频光路及光参量振荡器光路；三倍频光路产生1/3倍设定的激光并输出至和频光路；光参量振荡器光路通过光参量振荡产生相匹配波长的激光并输出至和频光路；和频光路进行和频，产生248.3nm深紫外激光。其无需复杂的外部时序控制电路，可大幅降低系统复杂度和造价，提高系统稳定性和可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于激光器，尤其涉及一种248.3nm单频全固态深紫外激光系统及方法。

技术介绍

1、本部分的陈述仅仅是提供了与本专利技术相关的
技术介绍
信息，不必然构成在先技术。

2、由于光纤光栅通常使用的材料对248.3nm光源敏感，具有较好的刻蚀特性，所以248.3nm光源广泛应用于光纤光栅刻蚀。同时，248.3nm光源是继g-line和i-line后的第三代光刻用光源，应用于集成电路光刻可实现130nm节点。

3、目前，获得248.3nm深紫外激光输出主要包括以下方案：

4、（1）利用krf准分子激光器作为种子源获得248.3nm准分子激光输出，然后通过多级准分子放大器进行放大获得的248.3nm激光输出。这样虽然可以获得高达四百瓦以上的输出功率，但是开发和使用相对复杂，耗材需定期更换。

5、（2）利用钛宝石或者翠绿宝石作为增益晶体的745nm激光器通过非线性变频获得248.3nm激光输出作为种子源，然后通过多级krf准分子放大器进行放大。这种方式通过全固态248.3nm激光器替代krf准分子激光器作为种子源本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种248.3nm单频全固态深紫外激光系统，其特征在于，包括：种子激光源光路、三倍频光路、光参量振荡器光路及和频光路；

2.如权利要求1所述的248.3nm单频全固态深紫外激光系统，其特征在于，所述三倍频光路用于：将接收到的激光经过倍频变换为波长为激光，输出波长为的激光及波长为的激光；再将波长为的激光及波长为的激光进行和频处理后，产生波长为的激光。

3.如权利要求1所述的248.3nm单频全固态深紫外激光系统，其特征在于，所述光参量振荡器光路用于：将接收到的激光经过倍频变换为波长为激光，再将波长为激光经过光参量振荡转换为波长为的激光。>

4.如权利要...

【技术特征摘要】

1.一种248.3nm单频全固态深紫外激光系统，其特征在于，包括：种子激光源光路、三倍频光路、光参量振荡器光路及和频光路；

2.如权利要求1所述的248.3nm单频全固态深紫外激光系统，其特征在于，所述三倍频光路用于：将接收到的激光经过倍频变换为波长为激光，输出波长为的激光及波长为的激光；再将波长为的激光及波长为的激光进行和频处理后，产生波长为的激光。

3.如权利要求1所述的248.3nm单频全固态深紫外激光系统，其特征在于，所述光参量振荡器光路用于：将接收到的激光经过倍频变换为波长为激光，再将波长为激光经过光参量振荡转换为波长为的激光。

4.如权利要求1所述的248.3nm单频全固态深紫外激光系统，其特征在于，所述种子激光源光路包括沿光路依次设置的波长为的单频种子激光器、声光调制器、光纤放大器、固体放大器、第一反射镜和分光镜。

5.如权利要求1所述的248.3nm单频全固态深紫外激光系统，其特征在于，所述三倍频光路包括沿光路依次设置的第一倍频非线性光学晶体、第一和频非线性光学晶体及第一双色镜。

...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵智刚，程天祥，刘兆军，丛振华，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：