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本文公开的实施方式包括模型化快速热处理(RTP)工具的方法。在一实施方式中，所述方法包括以下步骤：开发RTP工具的灯模型，其中所述灯模型包括多个灯区；计算针对所述多个灯区的辐照度图表；将所述辐照度图表中的所述多个灯区的辐照度值乘上工艺配方期...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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