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集成电路装置及其形成方法制造方法及图纸
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下载集成电路装置及其形成方法的技术资料
文档序号:43164037
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提供了集成电路装置及其形成方法。所述集成电路装置可以包括:晶体管,包括基底上的源极/漏极区域;背侧电源轨,与源极/漏极区域间隔开;以及电源接触件,在源极/漏极区域与背侧电源轨之间,并且将源极/漏极区域电连接到背侧电源轨。基底可以在源极/漏极...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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