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本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种基于等离子体处理的湿度传感器及其制备方法，所述湿度传感器包括电极片，电极片包括依次设置的聚二甲基硅氧烷薄膜、激光诱导石墨烯层和氧化石墨烯层；在激光诱导石墨烯层的两个端点分别设有接触位点；两条导线分别连接...
该专利属于河北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过河北工业大学授权不得商用。

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