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与激光烧蚀或离子束铣削相关联的表面污染和碎屑沉积是通过将被引导到工件的流与合适的真空压力下的抽吸结合来减少的。通常对真空压力进行选择，使得任何污染物或碎屑具有相对短的平均自由程，以避免在真空腔室中的远处表面上积聚。闸板可用于在处理期间屏蔽带...
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