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一种碳化硅晶体生长装置制造方法及图纸
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下载一种碳化硅晶体生长装置的技术资料
文档序号:43125682
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本技术公开了一种碳化硅晶体生长装置,包括坩埚,坩埚内部设置有加厚段,坩埚的中部均设置有中间凸起部,中间凸起部的底部向上开设有加热槽,坩埚的外侧设置有保温桶,保温桶的外侧设置有防护外壳,保温桶和坩埚之间设置有加热腔,加热腔的底部配合加热槽设置...
该专利属于幂指科技(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过幂指科技(北京)有限公司授权不得商用。
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