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本发明提出了计算多种电子能量分布特征的等离子体参数的方法及系统，包括：获得探针给定的I‑V数据，将I‑V数据中的电流数据一一对应地扣除离子电流后并对其进行平滑处理；绘制扣除离子电流的I‑V曲线，计算并绘制I‑V曲线的一阶导数、电子能量分布函...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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