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本发明提出种籽层边缘缺陷监测装置及方法。装置包括：夹具，被配置为保持硅片；旋转驱动机构，被配置为驱动夹具旋转；种籽层检测机构，包括：电涡流传感器，被配置为检测目标硅片的边缘区域电阻值的表征参数；以及与所述电涡流传感器通信连接的报警器控制器，...
该专利属于盛美半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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