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本申请提供一种光刻胶的匀胶方法及匀胶装置，光刻胶的匀胶方法包括以下步骤：提供一晶圆；将晶圆设置在一旋转载台上；将第一喷嘴对准晶圆的中心，使旋转载台具有第一转速，并利用第一喷嘴向晶圆喷涂第一剂量的丙二醇甲醚醋酸酯；将第二喷嘴对准晶圆的中心，使...
该专利属于华引芯（武汉）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华引芯（武汉）科技有限公司授权不得商用。

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