温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及机械设备技术领域，提供了一种晶圆边缘抛光设备，包括台体和抛光机构，还包括移动组件、收集组件和驱动组件；移动组件包括导轨、第一丝杆、移动板和第一电机，导轨和丝杆分别沿横向设置在台体上，导轨与台体固定连接，第一丝杆的两端与台体转动连接...
该专利属于中芯启通微电子（成都）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯启通微电子（成都）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。