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本文的实施例提出了光学器件及其制造方法。在实施例中,提供了光学器件,该光学器件包括:第一衬底,该第一衬底包括光学器件层和半导体管芯;第一波导结构,位于第一衬底上方,第一波导结构包括由包层材料围绕的第一光学组件,其中第一波导结构具有顶面,该顶...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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