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本发明公开了一种实现聚焦环自动对中的装置及方法，装置包括：设于基座上的弹性校正环；基座的表面上设有静电吸盘，静电吸盘的外侧用于安装聚焦环；校正环卡接于静电吸盘的侧面上，且校正环的外侧面与静电吸盘的侧面之间呈等距状态；校正环的内径小于静电吸盘...
该专利属于上海芯之翼半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯之翼半导体材料有限公司授权不得商用。

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