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本发明属于背接触电池技术领域，具体涉及一种多层隧穿氧化钝化的背接触电池的制造方法及背接触电池，包括在硅片正面依次沉积第一氧化层、第二氧化层和掺氧非晶硅层，形成钝化层，然后沉积减反层；第一氧化层在不抽真空条件下通过空气升温进行空气热氧化沉积而...
该专利属于金阳（泉州）新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过金阳（泉州）新能源科技有限公司授权不得商用。

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