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本发明公开了一种基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法。在石英晶体圆片的下表面沉积金属电极，金属电极总质量为M1；在石英晶体圆片的上表面依次沉积透明导电氧化物（TCO）/薄膜太阳电池功能层/氧化铟掺钨薄膜（IWO），整个复合层总质量为M2...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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