一种基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法技术

本发明专利技术公开了一种基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法。在石英晶体圆片的下表面沉积金属电极，金属电极总质量为M1；在石英晶体圆片的上表面依次沉积透明导电氧化物（TCO）/薄膜太阳电池功能层/氧化铟掺钨薄膜（IWO），整个复合层总质量为M2，其中M1=M2；金属电极与TCO相连，IWO有单独的连接通道。将整个结构放入具有窗口的封装体中，然后将封装体放置在一开有孔且配置有一定转速的斩波器的腔体中，最终获得一种基于石英谐振器的光电机电耦合器。本发明专利技术基于成熟的薄膜制备技术、谐振器制作技术和薄膜电池制作技术而成，通过斩波器转速的调整，在光电机电耦合器上实现脉冲光信号转变为机械振动信号。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光电机电耦合器件的制作，特别涉及基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法。

技术介绍

1、薄膜太阳电池具有厚度小（低于1）、质量轻、制作工艺简单等优点，满足不同场景下的光电转换要求。薄膜太阳电池在进行光电转换时，在稳态的光照下，输出均匀的直流信号。在实验中发现，当光照在薄膜太阳电池上时，在最初微秒光子作用下，将产生强的电流信号，随着光照时间的增加，电流信号迅速回落至正常水平。如果能够将稳态的光转变为瞬态的光，就可以间隔获得强度交变的脉冲信号，进而产生持续的交流信号。石英晶体是一种良好的压电材料，可以制作获得高精密、高稳定、高比值的压电谐振器，在交变信号的激励下，实现机电耦合的功能。另外石英晶体表面平整，力学性能均匀，与其他膜层附着性好，特别适合做薄膜太阳电池的衬底材料。本专利技术基于以上构想和技术背景，全面考察了各种薄膜太阳电池的结构特点和制备工艺，在调研并分析了光电机电耦合机理的基础上，提出了在石英谐振器上沉积薄膜太阳电池，并形成光电机电耦合器的制作方法。同时配置可调转速的斩波器获得脉冲光信号，利用光电转化效应获得交流电信号，进而在石英晶体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法，其特征在于：石英晶体圆片的下表面沉积金属电极，金属电极总质量为M1，石英晶体圆片的上表面沉积TCO/薄膜太阳电池/IWO多层薄膜，多层薄膜总质量为M2，同时石英晶体圆片的上表面TCO与下表面金属电极相连，上表面的IWO有单独的通道，整个器件封装后放入配置有斩波器的腔体中，调节斩波器转速，最终将脉冲光信号转变为机械振动信号。

2.根据权利要求1所述的一种基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法，其特征在于石英晶体圆片下表面沉积的金属电极可以是金、银、铝某种金属或复合金属。

3.根据权利要求1所述的一种基于石英谐振器的...

【技术特征摘要】

1.一种基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法，其特征在于：石英晶体圆片的下表面沉积金属电极，金属电极总质量为m1，石英晶体圆片的上表面沉积tco/薄膜太阳电池/iwo多层薄膜，多层薄膜总质量为m2，同时石英晶体圆片的上表面tco与下表面金属电极相连，上表面的iwo有单独的通道，整个器件封装后放入配置有斩波器的腔体中，调节斩波器转速，最终将脉冲光信号转变为机械振动信号。

2.根据权利要求1所述的一种基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法，其特征在于石英晶体圆片下表面沉积的金属电极可以是金、银、铝某种金属或复合金属。

3.根据权利要求1所述的一种基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法，其特征在于石英晶体圆片的上表面沉积的tco可以是in2o3:sno2或sno2：f，而薄膜太阳电池可以是碲化镉薄膜太阳电池、钙钛矿太阳电池或铜铟镓锡太阳电池。

4.根据权利要求1所述的一种基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法，其特征在于石英晶体圆片的上表面tco与下表面金属电...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾广根，张鑫，邰运朴，张迪，尤福，刘邦华，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：发明
国别省市：