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本发明公开了属于MEMS传感器技术领域的一种耦合了超级电容式储能原理的高过载力学冲击MEMS惯性开关。该惯性开关是三层式的封闭式结构。三层硬质结构是附着有多孔电极材料的金属集电极，三层结构之间的腔体钟充满电解质溶液。三层结构中，中间层开有导...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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