一种超级电容储能式高过载力学冲击MEMS惯性开关制造技术

本发明专利技术公开了属于MEMS传感器技术领域的一种耦合了超级电容式储能原理的高过载力学冲击MEMS惯性开关。该惯性开关是三层式的封闭式结构。三层硬质结构是附着有多孔电极材料的金属集电极，三层结构之间的腔体钟充满电解质溶液。三层结构中，中间层开有导流缝隙，从而释放中间层在密闭液体空间中的可动性。下层带有圆形凸台。上中下三层各自独立，不需要进行任何电气连接。本发明专利技术所提出的这种耦合了超级电容式储能原理的高过载力学冲击MEMS惯性开关一方面通过液态封闭环境缓冲解决惯性开关大阈值准确度与抗高过载的问题，另一方面彻底解决惯性开关的能耗问题，让惯性开关具备能量存储和对外供能的能力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微型传感器，特别涉及一种超级电容储能式高过载力学冲击mems惯性开关。

技术介绍

1、mems惯性开关是一种利用惯性力实现开关功能的传感器，可以对高过载力学冲击产生响应。当力学冲击超过惯性开关所设计的阈值时，惯性开关内部的敏感结构将在惯性的作用下接触闭合，从而产生信号。传统的mems惯性开关精度较低，在大阈值的设计需求下线性度较差，从而导致其阈值精度较差、可靠性受到限制。同时，尽管mems惯性开关自身能耗较低，但仍难以做到完全0功耗。因此，亟需提出一种可以自身储能，且在大阈值条件下开关性能较稳定准确的新型高过载力学冲击mems惯性开关。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提出一种超级电容储能式高过载力学冲击mems惯性开关，其特征在于，所述超级电容储能式高过载力学冲击mems惯性开关是封闭式的三层电极结构，三层电极结构均为硬质结构，包括上电极1、中电极2和下电极3；三层电极结构上均附着有多孔电极材料6，作为金属集电极；层与层之间通过环氧树脂7进行支撑与密封；三层电极结构之间的腔体中充满电解质溶本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种超级电容储能式高过载力学冲击MEMS惯性开关，其特征在于，所述超级电容储能式高过载力学冲击MEMS惯性开关是封闭式的三层电极结构，三层电极均为硬质结构，包括上电极(1)、中电极(2)和下电极(3)；三层电极上均附着有多孔电极材料(6)，作为金属集电极；层与层之间通过环氧树脂(7)进行支撑与密封；三层电极结构之间的腔体中充满电解质溶液(4)；三层电极结构之中电极(2)有导流缝隙(8)，从而使电解质溶液(4)在密闭液体空间中具有可动性；在下电极(3)上面带有圆形凸台(5)；上中下三层电极各自独立，不需要进行任何电气连接。

2.根据权利要求1所述超级电容储能式高过载力学冲击...

【技术特征摘要】

1.一种超级电容储能式高过载力学冲击mems惯性开关，其特征在于，所述超级电容储能式高过载力学冲击mems惯性开关是封闭式的三层电极结构，三层电极均为硬质结构，包括上电极(1)、中电极(2)和下电极(3)；三层电极上均附着有多孔电极材料(6)，作为金属集电极；层与层之间通过环氧树脂(7)进行支撑与密封；三层电极结构之间的腔体中充满电解质溶液(4)；三层电极结构之中电极(2)有导流缝隙(8)，从而使电解质溶液(4)在密闭液体空间中具有可动性；在下电极(3)上面带有圆形凸台(5)；上中下三层电极各自独立，不需要进行任何电气连接。

2.根据权利要求1所述超级电容储能式高过载力学冲...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓峰，王逸群，戴可人，尹亚江，江斌，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：