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一种半导体设备的工艺控制方法中，该方法的上位机通过对工艺配方文件中控制半导体设备完成预设工艺流程需要的工艺变量进行预编译操作，获得对应的通用工艺指令队列；下位机部署有通用工艺指令集，使得下位机可以作为解释执行器，下位机通过对每个通用工艺指令...
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