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本发明公开一种形成图案化介质母图案和磁介质盘的方法。该方法包括：使用电子束光刻形成盘上的同心环的化学对比度图案，其中所述同心环的间距等于目标道节距的整数倍，所述环包括在伺服扇区头部内的区域，该处所述环径向偏移一部分道节距；进行自组装以在化学...
该专利属于日立环球储存科技荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日立环球储存科技荷兰有限公司授权不得商用。

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