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本发明实施例公开了一种晶圆抛光方法、装置、设备及存储介质，本发明实施例能够准确地监测磨轮的磨损情况，且操作过程简单快速，无需其它昂贵的专业测量仪器，减少了对专业设备和操作人员的依赖，降低了操作复杂性和测量成本，减少了由于测量和计算过程繁琐导...
该专利属于迈为技术（珠海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈为技术（珠海）有限公司授权不得商用。

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