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本发明属于Ⅲ族氧化物薄膜和器件制造技术领域，涉及一种利用液态镓基金属制备氧化镓外延层的方法，采用ECR‑PEMOCVD设备进行制备，首先在氢氮等离子体清洗后的衬底的上表面制备氮氧化镓缓冲层，然后在氮氧化镓缓冲层的上表面制备液态镓基金属点阵，...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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