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本申请涉及芯片检测技术领域，具体涉及一种用于检测芯片空洞的X‑ray快速校准装置及方法，所述装置包括：X‑ray检测设备和校准板组件；校准板组件包括：相互配合的第一校准板和第二板校准板；第二板校准板设置有多个镂空区域，第一校准板设置有多个不...
该专利属于赛晶亚太半导体科技（浙江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛晶亚太半导体科技（浙江）有限公司授权不得商用。

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