一种用于检测芯片空洞的X-ray快速校准装置及方法制造方法及图纸

本申请涉及芯片检测技术领域，具体涉及一种用于检测芯片空洞的X‑ray快速校准装置及方法，所述装置包括：X‑ray检测设备和校准板组件；校准板组件包括：相互配合的第一校准板和第二板校准板；第二板校准板设置有多个镂空区域，第一校准板设置有多个不同尺寸的空洞，其中，第一校准板设置在第二板校准板的上端，第二板校准板上的每个镂空区域与第一校准板的每个空洞的位置相对应，且镂空区域完全覆盖住空洞。本申请通过在校准板组件上设置多个不同尺寸的空洞，作为目标芯片的模拟空洞来进行色阶检测，从而校准X‑ray检测设备。这样，测量次数少从而大幅度地减少了X‑ray检测设备的校准时间。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及芯片检测，具体涉及一种用于检测芯片空洞的x-ray快速校准装置及方法。

技术介绍

1、无损检测广泛应用于多个工程领域，特别是半导体、电子制造等产业。由于工业生产过程中产生的大量缺陷隐藏在产品的表面以下，只有x射线可以穿透物体直达内部，又因为工业产品内部结构的高复杂性和尺寸日趋微小性，二维x射线透射图像无法区分物体的不同高度结构，而三维ct需要采集大量的二维图像，且其机械结构复杂，与样品距离不够，无法满足工业化在线检测的需求，如检测时间短、成本低、图形分辨率高等要求。

2、现有技术中，通过xray检测机来识别半导体的空洞。需要将xray检测机调至调试状态，改变轨道的宽度至校准板组件宽度，更换校准专用的夹爪，再使用专用的校准板组件，手动传入设备中心，更换校准用的acq，将原点移至校准板组件，再开启校准程序，校准程序需要耗时30分钟左右，通过校准板组件上的左右两块固定位置不同灰度的校准面，来回探查灰度通过多次测量来得到大量数据，根据得到灰度数据来得出校准数据，生成excel数据报告，数据报告需要导入相关软件，通过软件读取数据最后再生成校准报本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于检测芯片空洞的X-ray快速校准装置，其特征在于：包括：X-ray检测设备和校准板组件；

2.根据权利要求1所述的用于检测芯片空洞的X-ray快速校准装置，其特征在于：所述校准板组件，还包括：基板；基板中间具有中空区域，用于放置第一校准板和第二板校准板。

3.根据权利要求1所述的用于检测芯片空洞的X-ray快速校准装置，其特征在于：所述校准板组件，还包括：亚克力板，用于覆盖在第一校准板上面。

4.根据权利要求1所述的用于检测芯片空洞的X-ray快速校准装置，其特征在于：在校准板组件上设置有标记码。

5.根据权利要求1所述的用于检...

【技术特征摘要】

1.一种用于检测芯片空洞的x-ray快速校准装置，其特征在于：包括：x-ray检测设备和校准板组件；

2.根据权利要求1所述的用于检测芯片空洞的x-ray快速校准装置，其特征在于：所述校准板组件，还包括：基板；基板中间具有中空区域，用于放置第一校准板和第二板校准板。

3.根据权利要求1所述的用于检测芯片空洞的x-ray快速校准装置，其特征在于：所述校准板组件，还包括：亚克力板，用于覆盖在第一校准板上面。

4.根据权利要求1所述的用于检测芯片空洞的x-ray快速校准装置，其特征在于：在校准板组件上设置有标记码。

5.根据权利要求1所述的用于检测芯片空洞的x-ray快速校准装置，其特征在于：不同的校准板组件与不同的芯片检测相匹配，其中，第一校准板中的空洞与对应芯片的真实空洞相匹配。

6.根据权利要求1所述的用于检测芯片空洞的x-ray快速校准装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴凌涛，滕杨杨，车祥豪，徐文凯，
申请(专利权)人：赛晶亚太半导体科技浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：