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一种用于衬底处理系统的射频匹配电路的电感带，所述的电感带包括第一端和第二端，其中该第一端和该第二端中的每一者包括：相应的连接器接线片，其被配置成连接至相应电容器的终端；电感线圈，其设置在该第一端和该第二端之间；以及中间部分，其设置在该电感线...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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