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本发明公开了一种用于刻蚀中载台的温度补偿方法及装置；将载台分成若干的区域，在每一个区域内设置独立的冷却系统，加热系统以及温度监控系统，能够对载台每一处的温度进行控制；多区控温技术采用先进的加热元件和温度传感器，以及复杂的控制算法来实现；这些...
该专利属于无锡尚积半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡尚积半导体科技有限公司授权不得商用。

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