下载具有隔离结构的场效应晶体管及相关方法的技术资料

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本公开涉及具有隔离结构的场效应晶体管及相关方法。一种方法包括:在衬底之上形成第一半导体沟道堆叠和第二半导体沟道堆叠;在第一堆叠和第二堆叠之上形成多个牺牲栅极;在形成多个牺牲栅极的同时,在过渡区域之上并邻近多个牺牲栅极形成条结构;在第一半导体...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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