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本公开提供了一种晶圆接合的补偿方法，包括接合第一晶圆和一第二晶圆，该第一晶圆包括第一导电垫片和第二导电垫片；执行第一覆盖检查；确认第一覆盖检查的结果是否合乎第一预定标准；若第一覆盖检查的结果不合乎第一预定标准，执行第一补偿方法以形成补偿的第...
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