下载芯片键合用的夹具的技术资料

文档序号:42894490

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本申请公开了一种芯片键合用的夹具,涉及半导体设备技术领域。其技术要点是:包括可加热工作平台,可加热工作平台的顶部设有芯片组件放置平台,芯片组件放置平台的中间位置安装有定位挡片,定位挡片远离可加热工作平台接线端的一侧设有第一夹紧单元,定位挡片...
该专利属于中科国芯检测技术(西安)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中科国芯检测技术(西安)有限公司授权不得商用。

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