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本申请涉及半导体前道检测技术领域，为一种暗场检测系统及方法，具体为一种检测系统、调节方法、缺陷检测设备及缺陷检测方法。能够通过反射光路中配置光学器件和探测器，实现对于检测光束指向性、检测光束离焦和激光器温度的实时检测；并通过在入射光路中设置...
该专利属于聚时科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过聚时科技（上海）有限公司授权不得商用。

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