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本公开提供一种测漏工具和测漏系统，涉及半导体制备设备技术领域，用于解决静电吸盘与铝环组装形成的组件的测漏率试验效率低的问题，该测漏工具包括检测台、紧固件和连接管道。检测台具有装配面，装配面用于支撑待测件，且装配面被配置为与待测件密封配合。检...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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