温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供了一种平面分光无源光芯片的制备方法，包括制作旋转光束，并通过所述旋转光束对硅基螺旋切割改性，经氢氟酸溶液腐蚀以形成光纤阵列排；在所述硅基上沉积金属层；制作光学器件，并将所述光学器件连接至所述金属层；将光纤连接至所述光纤阵列排...
该专利属于比亚迪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过比亚迪股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。