下载一种玻璃键合三维堆叠结构及其制备方法的技术资料

文档序号:42863129

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本发明涉及半导体技术领域,公开一种玻璃键合三维堆叠结构及其制备方法,包括以下步骤:提供玻璃板以及在玻璃板的双面制作第一线路层,制得玻璃基;将若干玻璃基垂直堆叠,并预先在玻璃基的双面印刷连接剂,使连接剂的厚度高于第一线路层的表面,然后将两块玻...
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