下载蚀刻组合物、使用其蚀刻含金属的膜的方法和使用其制造半导体器件的方法的技术资料

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蚀刻组合物可包括氧化剂、铵盐、水性溶剂和促进剂,所述铵盐包括铵阳离子和有机阴离子,所述促进剂包括第一促进剂和第二促进剂,所述第一促进剂和所述第二促进剂彼此不同,并且所述第一促进剂和所述第二促进剂各自包括由下式A表示的基团、由下式B表示的基团...
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