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一种具有便携式储存器的系统及方法，该系统包括一输送器。一半导体工艺工具包括一升降机用端口且被定位接近于输送器，如此使得升降机用端口可设计对输送器与升降机用端口之间的一晶片传送盒的运输。一上游储存器与一下游储存器均并置于输送器与半导体工艺工具...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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