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本发明提供了一种应用于立式炉的测温装置和立式炉，涉及晶圆的热处理技术领域，为解决热电偶在套管内的倾斜和不同心难以处理的问题而设计。应用于立式炉的测温装置包括热电偶，热电偶的顶端能够从立式炉的套管的底端插入套管内；安装部，用于承载热电偶；倾斜...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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