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一种含有金属氮氧化物而成的抗蚀剂。本发明的抗蚀剂能够适合用于制备例如微透镜片材、光扩散片、无反射片、光半导体元件密封用片材、光波导、光盘、光传感器等的光学部件的表面加工用的成形模具。...
该专利属于独立行政法人产业技术综合研究所;日东电工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过独立行政法人产业技术综合研究所;日东电工株式会社授权不得商用。

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