下载带棱锥形沟道结构的具有用于桶状栅极的均匀栅格金属栅极和沟槽接触插塞的集成电路结构的技术资料

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本文公开了带棱锥形沟道结构的具有用于桶状栅极的均匀栅格金属栅极和沟槽接触插塞的集成电路结构。描述了带有棱锥形沟道结构的具有均匀栅格金属栅极和沟槽接触切口的集成电路结构。例如,集成电路结构包括水平纳米线的竖直堆叠体,该水平纳米线的竖直堆叠体具...
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