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本发明提供一种极紫外光敏材料产气检测装置，包括：样品腔，真空机组，可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪，真空规，控制阀，进光法兰口和物料门，其中，所述可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪、真空规、控制阀、进光法兰口、物料门分别与样品腔连接，所述...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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