【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于超高真空气体检测领域，具体地说，是涉及一种极紫外光敏材料产气检测装置。
技术介绍
1、随着集成电路特征尺寸的减小，作为集成电路制造的关键基础材料之一的光刻胶也经历了迅速发展。按照曝光波长不同，光刻胶经历了436nm，365nm、248nm、193nm，13.5nm等发展阶段。极紫外光刻是采用13.5nm的光波长在超高真空条件下进行的光刻工艺，目前已实现了22nm光刻节点集成电路的量产化制造。
2、极紫外光的光子能量很高，接近100ev，这就要求极紫外照射下的光刻胶不能产生过多的分解，因为光刻胶分解释放的气体将会对光刻设备中的光学器件造成污染，影响设备的使用和光刻工艺的顺利进行。
3、极紫外光刻胶除了在一般光刻胶的分辨率、灵敏度等方面需要满足一系列性能指标外，还必须考虑到极紫外光刻在超高真空环境和光学设备对材料的要求，这就要求光刻胶在使用过程中不能对超高真空环境和光学设备产生污染或损伤。在研发光刻胶材料过程中，为了全面系统地评估光刻胶材料在曝光过程中的放气情况，尽可能接近真实工作条件下的光刻胶产气检测...
【技术保护点】
1.一种极紫外光敏材料产气检测装置，包括：样品腔，真空机组，可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪，真空规，控制阀，进光法兰口和物料门，其中，所述可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪、真空规、控制阀、进光法兰口、物料门分别与样品腔连接，
2.根据权利要求1所述的极紫外光敏材料产气检测装置，其特征在于，所述控制阀为插板阀、蝶阀、球阀或截止阀中的一种。
3.根据权利要求1所述的极紫外光敏材料产气检测装置，其特征在于，所述可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪包括激光器端和探测器端，分别用于激光输出和信号接收。
4.根据权利要求3所述的极紫外光敏材...
【技术特征摘要】
1.一种极紫外光敏材料产气检测装置，包括：样品腔，真空机组，可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪，真空规，控制阀，进光法兰口和物料门，其中，所述可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪、真空规、控制阀、进光法兰口、物料门分别与样品腔连接，
2.根据权利要求1所述的极紫外光敏材料产气检测装置，其特征在于，所述控制阀为插板阀、蝶阀、球阀或截止阀中的一种。
3.根据权利要求1所述的极紫外光敏材料产气检测装置，其特征在于，所述可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪包括激光器端和探测器端，分别用于激光输出和信号接收。
4.根据权利要求3所述的极紫外光敏材料产气检...
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